Edwards（爱德华）是全球真空设备与减排系统领域的先驱，1919年成立于英国，2014年加入瑞典Atlas Copco集团，现为半导体、光伏、锂电池等工业领域真空技术的头部供应商。其产品以高可靠性、节能性和智能化著称，全球市场份额接近50%，尤其在半导体真空泵领域占据领先地位。

核心工业产品系列与热销型号

1. 工业干式真空泵系列

GXS系列（干式螺杆泵）

热销型号：GXS160、GXS250、GXS450、GXS750（可搭配高速罗茨增压泵）

特点：高效处理腐蚀性气体与微粒，长维护周期（达5年），适用于锂电池注液、化工蒸馏等高污染场景。

GV系列（大型工业干泵）

热销型号：GV600、GV400

特点：大流量、低能耗，专为光伏镀膜、工业脱气等连续作业设计，支持5年免拆洗维护。

2. 半导体专用泵系列

iH系列（爪式干泵）

热销型号：iH600、iH1000、iH1800

特点：高洁净度、低振动，用于300mm晶圆制造中的PECVD/LPCVD工艺，兼容颗粒与腐蚀性气体。

QDP/iQDP系列（干式爪泵）

热销型号：QDP80、iQDP40

特点：模块化设计，集成智能控制，适用于半导体洁净室的快速抽空需求。

3. 罗茨真空泵系列

EH系列（机械增压泵）

热销型号：EH2600、EH4200

特点：高抽速、宽压力范围，作为前级泵用于半导体设备、冶金工艺等高流量场景。

MB系列（大型罗茨泵）

热销型号：MB5700

特点：超大功率输出，适用于工业级连续运行（如钢铁冶炼、化工反应釜）。

4. 油封式真空泵系列

EM系列（大型油封泵）

热销型号：E2M80、E2M275

特点：高极限真空、低噪音，用于变压器干燥、灯具制造等粗真空场景。

RV系列（小型油封泵）

热销型号：RV12、RV8

特点：双模式切换（高流量/高真空），适用于实验室、小型工业设备配套。

5. 特殊工业应用泵

EDC系列（爪式干泵）

热销型号：EDC300、EDC500

特点：耐腐蚀涂层、蒸汽消毒兼容，专为食品加工、医疗灭菌设备设计。

nXDS系列（涡卷干泵）

热销型号：nXDS20i

特点：紧凑型设计，低能耗，适用于精密仪器与洁净室环境。

技术优势与工业应用价值

高效节能：采用干式无油技术减少污染，GXS系列能耗降低30%，环保模式可进一步节省20%电力。

极端环境适应性：iH系列耐受腐蚀性气体与微粒，MB系列可处理高温粉尘，EM系列蒸汽处理能力达220g/hr。

智能化控制：集成传感器与远程监控系统，实时预警维护需求，减少停机时间。

定制化方案：针对光伏、锂电池等新兴行业，提供从泵组到减排系统的整体解决方案（如EZENITH集成系统）。